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常见曝光机举例
目录：常见问题点击率：
发布时间：2016-11-15 10:05:14
紫外灯电源系统
操作控制器
350W紫外灯
MDA-400M参数：
晶片台
基底尺寸 标准尺寸 最大至4英寸；可选最大至6英寸；
托盘 标准尺寸 最大至4英寸；可选最大至6英寸；
活动范围
X：10mm Y： 10mm Z ： 10mm Theta： 4 degree
对准精度 1um
挤入补偿 Air bearing型
Z轴滑动 手动
真空泵 无油真空泵
掩膜台
掩膜夹具类型 真空吸附和机械夹取
紫外光源
紫外灯 350 瓦
均匀光束大小 4.25“ X 4.25“
曝光模式 压缩/真空/相邻
曝光时间控制 可编程控制型
曝光定时器 1 ~ 999.9 秒
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